La première centrale géothermique a été inventée en 1904 par le prince Piero Ginori Conti. Ce système utilisait de la vapeur pour produire de l'électricité.
Ce n'est qu'en 1922 que la première centrale géothermique a été construite aux États-Unis avec une capacité de 250 kilowatts. Sa production était faible et a ensuite été fermée en raison de problèmes techniques. Plus tard en 1946, une pompe à chaleur géothermique a été construite au Commonwealth Building en Oregon. La première centrale géothermique à grande échelle, d'une puissance de 11 mégawatts, a été construite à San Francisco dans les années 1960. Les pompes à chaleur géothermiques ont gagné en popularité dans les années 1980 à la suite de la crise pétrolière de 1973. Depuis lors, l'énergie géothermique n'a cessé de se développer avec le besoin croissant de réduire les coûts de refroidissement et de chauffage.