Frederick Guthrie a inventé la diode en 1873, mais ne l'a pas mise en pratique. Thomas Edison l'a développée indépendamment en 1880, puis l'a utilisée dans son brevet de 1883 sur l'ampoule à incandescence. John Ambrose Fleming a reçu le premier brevet sur la diode elle-même en 1904.
Toutes ces premières diodes étaient des diodes à tube à vide. La diode à tube à vide était la forme la plus courante jusqu'aux années 1950, lorsque les diodes à semi-conducteurs les ont supplantées. Les diodes à semi-conducteur ont été inventées peu de temps après les diodes à tube à vide, mais n'étaient pas suffisamment stables pour une utilisation pratique jusqu'au milieu du 20e siècle. Karl Ferdinand Braun a inventé la première diode à semi-conducteur en 1874 et l'a brevetée en 1899.
